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  [기계] 광안내부를 구비하는 입자 측정 센서
   등록 : ezpex     날짜 : 14-01-24 17:46    
· 기술명칭 한글 : 광안내부를 구비하는 입자 측정 센서
영문 : Sensor for mearsuring particles having light guide
· 기술분야 [기계] · 기술개발상태 기술개발완료
· 관련특허정보 등록특허 10-1268152호
· 희망거래유형 기술매매 라이센싱 · 희망거래금액 협의
· 거래상태 거래가능
· 응용분야 반도체 공정, LCD 공정등의 고도 정밀 공정
· 기타첨부파일
   명세서.pdf (391.2K), Down : 4, 2014-01-24 17:48:19

· 기술개요

광안내부를 구비하는 입자 측정 센서에 관한 것이다.

검사구역 내에서 검사광을 반복적으로 반사시킴으로써 피측정 입자에 관한 정보를 측정할 수 있는 범위를 늘릴 수 있는 광안내부를 구비하는 입자 측정 센서에 관한 것이다.

단일의 광원부를 이용하여, 광범위한 지점을 통과하는 피측정 입자에 대한 정보를 측정함으로써 측정효율이 향상될 수 있는 광안내부를 구비하는 입자 측정 센서가 제공된다.

· 기술특징

다음을 포함한다.
1. 광안내부를 구비하는 입자 측정 센서에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 광안내부를 구비하는 입자 측정 센서는 피측정 입자가 입사되는 검사구역
2. 상기 검사구역의 외부에 배치되되, 기본광을 발생시키는 광발생부, 상기 기본광을 직선광으로 변환하는 광변환부, 상기 직선광을 상기 검사구역 내에서 집속되는 검사광으로 변환하는 광집속부를 구비하는 광원부
3. 상기 검사구역을 통과한 검사광을 이용하여 상기 피측정 입자의 정보를 측정하는 측정부
상기 검사구역의 외측으로 향하는 상기 검사광을 상기 검사구역의 내측으로 반사시킴으로써, 상기 검사광의 광경로를 상기 측정부 측으로 유도하는 광안내부

상기 광안내부는 복수개가 상기 검사구역의 외면에 마련되되, 상기 검사광의 광경로의 길이가 증가되도록 적어도 어느 하나는 다른 하나 측으로 상기 검사광을 반사키는 것을 특징으로 하는 광안내부를 구비하는 입자 측정 센서가 제공된다.

검사구역 내 소정의 집속지점에서 집속되는 검사광을 발생시키고, 이를 반복적으로 반사시켜 다수의 집속 지점이 형성되도록 함으로써, 단일 광원부에 의하여 다수의 지점에서 피측정 입자를 측정할 수 있으며, 이로 인하여 측정효율이 향상될 수 있다.
광변환부의 위치를 제어함으로써 집속지점에서 검사광의 광강도를 용이하게 제어할 수 있으며 광변환부가 장착되는 경사각을 제어함으로써, 검사구역 내 검사광의 집속지점의 위치를 제어할 수 있다.

· 사업성

피측정 입자가 측정될 수 있는 영역을 확장하고, 측정효율을 향상

· 이미지



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